LIGA method of forming high-contrast collimators and anti-scatter grids with high aspect ratio

Abstract

В статье рассматриваются вопросы создания и применения высококонтрастных антискаттерных рентгеновских сеток для рентгеновской визуализации в диапазоне 20-200 КЭВ из Микрофокусных рентгеновских трубок. Структура решетки никеля высоко-аспект-коэффициента прототипа использована для того чтобы рассматривать удар решетки анти -- разброса на дирекционных картинах трубки рентгеновского снимка ИМА-2-150Д. Показано подавление рассеянного излучения и сужение схемы направленного излучения. Контраст прототипа никеля, по-видимому, недостаточен. В статье представлены методы LIGA для изготовления антискаттерных рентгеновских сеток из золота в Сибирском центре Синхротронного и Терагерцового излучения. Описан метод формирования резистивных сетчатых структур с использованием глубинной рентгеновской литографии и показаны тестовые структуры. В настоящее время идет Разработка технологии изготовления рентгеновских сеток против рассеяния.